▲台積電。(圖/記者高兆麟攝)
記者高兆麟/綜合報導
晶圓代工龍頭台積電(2330)晚間發布最新聲明,表示今日在地震發生後10小時內,晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠的復原率更已超過80%,儘管有部分設備受損影響生產,但主要機台及EUV都沒有損傷,將繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。
台灣於今(3)晨經歷芮氏規模7.2地震,為過去25年來最強。新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度級為5 ,台中和台南科學園區的最大震度級則為 4。
台積電表示,公司在台灣的晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位,詳細影響正在確認中。
另外,台積電建廠工地狀況檢查初步正常,因安全考量已決定今日台灣各地工地停工,待檢查後再行施工。
台積電表示,基於公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備。在4月3日地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠(如晶圓十八廠)的復原率更已超過80%。雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外(EUV)光刻設備皆無受損。
台積電表示,公司已有資源到位以加速達到全面復原,且已在今日持續復工中,也與客戶保持密切溝通。台積電將繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。
標題:快訊/台積電深夜發聲明 設備復原率已超過7成「EUV皆未受損」
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